G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例

一、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例的工作原理

氣動(dòng)隔膜閥主要由閥體、閥板、膜片和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。當(dāng)空氣壓力作用于膜片時(shí)，膜片會(huì)產(chǎn)生變形，從而帶動(dòng)閥板運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)開關(guān)動(dòng)作。氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)方式有氣開式和氣關(guān)式兩種，可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。由閥體、閥桿、絲母、閥頭、隔膜，瓷釉層、手輪等組成，隔膜采用F46材和橡膠墊制成。此閥能耐各種濃度酸、堿、鹽類、及有機(jī)物料的輸送，此閥除磷酸及磷性介質(zhì)、qing氟酸、鹽酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀外，能耐各種酸堿鹽溶液及有機(jī)溶劑。搪瓷法蘭隔膜閥是將含硅量高的瓷釉涂于金屬表面，通過950℃搪燒，使瓷釉密著于金屬鐵胎表面制成。因此，它具有類似玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和金屬?gòu)?qiáng)度的雙重優(yōu)點(diǎn)，是一種優(yōu)良的耐腐蝕設(shè)備元件。隔膜閥是用閥腔內(nèi)的膜片作啟閉件封閉流道、截?cái)嗔黧w、并將閥體內(nèi)腔和閥蓋內(nèi)腔隔開的截止閥。膜片常用橡膠、塑料等彈性、耐腐蝕、非滲透性材料制成。

閥體多用金屬襯里、無襯里或塑料制成。 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封和防腐性能好，流體阻力小。用于常壓、常溫、腐蝕性較強(qiáng)和含懸浮物質(zhì)的介質(zhì)。隔膜閥可分為手動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥、氣動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥、電動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥。是一種利用空氣動(dòng)力來驅(qū)動(dòng)的開關(guān)，具有快速、安全、可靠、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體行業(yè)中被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中。本文將詳細(xì)介紹氣動(dòng)隔膜閥的工作原理、特點(diǎn)及在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用。



二、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例氣動(dòng)隔膜閥的特點(diǎn)
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：氣動(dòng)隔膜閥的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，易于安裝和維護(hù)。
2. 密封性好：膜片與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu)，密封性能好，能夠有效地防止氣體和液體泄漏。
3. 動(dòng)作靈敏：氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用氣動(dòng)方式，動(dòng)作靈敏，可以實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)。
4. 適用范圍廣：氣動(dòng)隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，具有廣泛的應(yīng)用范圍。
5. 安全性高：氣動(dòng)隔膜閥采用膜片作為密封件，能夠有效地避免物料卡死或粘結(jié)現(xiàn)象，提高了設(shè)備的安全性。
6. 維護(hù)方便：氣動(dòng)隔膜閥的維護(hù)非常方便，只需要定期清洗和更換膜片即可。




G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例特點(diǎn)：

（1）流體阻力小。

（2）能用于含硬質(zhì)懸浮物的介質(zhì)；由于介質(zhì)只與閥體和隔膜接觸，所以無需填料函，不存在填料函泄漏問題，對(duì)閥桿部分無腐蝕可能。

（3）適用于有腐蝕性、粘性、漿液介質(zhì)。

（4）不能用于壓力較高的場(chǎng)合。

G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)規(guī)范：

1、耐酸性：

對(duì)各種有機(jī)酸、無機(jī)酸、有機(jī)溶劑均有較好的抗蝕性。搪玻璃試樣置于20%HCI溶液中煮沸48h，腐蝕速率為0.9lg/m2.d（優(yōu)等品指標(biāo)為1.0g/m2.d）。

2、耐堿性：

搪玻璃對(duì)堿性溶液抗蝕性較酸溶液差。搪玻璃試樣置于1N氫氧化鈉溶液腐蝕，試驗(yàn)溫度80℃時(shí)間24h。腐蝕速率為6.76g/m2.d（優(yōu)等品指標(biāo)為7.0g/m2.d）。

3、操作溫度：

搪玻璃設(shè)備加熱和冷卻時(shí)，應(yīng)緩慢進(jìn)行。搪玻璃設(shè)備使用溫度為0－200℃，耐溫急變性≥200℃。

4、瓷層厚度：

玻璃設(shè)備的瓷層厚度0.8-2.0mm，搪玻璃設(shè)備附件的瓷層厚度0.6-1.8mm。

5、耐壓電：

搪玻璃具有良好的絕緣性，當(dāng)搪玻璃在規(guī)定厚度內(nèi)用20KV高頻電火花檢查瓷層時(shí)，高頻電火花不能擊穿瓷層。

6、耐沖擊性：

玻璃層的內(nèi)應(yīng)力越小，彈性越好，硬度越大，抗彎抗壓強(qiáng)度越高，則耐沖擊就越好。玻璃層在規(guī)定厚度內(nèi)，用直徑30mm，重量112g鋼球沖擊時(shí)，其沖擊功為272×10-3J（優(yōu)等品指標(biāo)為260×10-3J）。

三、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用




在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣動(dòng)隔膜閥被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，以下是幾個(gè)典型的應(yīng)用場(chǎng)景：搪玻璃閥門及管件廣泛適用于化工、醫(yī)藥、染料、農(nóng)藥、有機(jī)合成、石油、食品制造和國(guó)防工業(yè)等工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中的反應(yīng)、蒸發(fā)、濃縮、合成、萃取、聚合、皂化、礦化、氯化、硝化等，以代替昂貴的不銹鋼和有色金屬。


1. 工藝氣體管路：在半導(dǎo)體制造過程中，需要使用各種工藝氣體，如氮?dú)狻⒀鯕狻錃獾取鈩?dòng)隔膜閥能夠快速、準(zhǔn)確地控制這些氣體的流量和壓力，為生產(chǎn)提供穩(wěn)定的工藝環(huán)境。
2. 液體管路：在半導(dǎo)體制造中，各種化學(xué)試劑和超純水需要通過管道進(jìn)行輸送。氣動(dòng)隔膜閥可以控制液體的流量和壓力，確保輸送過程的穩(wěn)定性和安全性。
3. 真空管路：半導(dǎo)體制造過程中需要進(jìn)行真空處理，如薄膜沉積、干法刻蝕等。氣動(dòng)隔膜閥可以在真空系統(tǒng)中起到開關(guān)和調(diào)節(jié)作用，保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
4. 尾氣處理系統(tǒng)：在半導(dǎo)體制造過程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣，如酸氣、有機(jī)廢氣等。氣動(dòng)隔膜閥可以控制尾氣處理系統(tǒng)的閥門開關(guān)，實(shí)現(xiàn)廢氣的收集和處理。
5. 晶圓傳送系統(tǒng)：半導(dǎo)體制造中的晶圓需要經(jīng)過多個(gè)工藝步驟之間的傳遞。氣動(dòng)隔膜閥可以控制晶圓傳送系統(tǒng)的氣體管道，確保晶圓在傳送過程中的穩(wěn)定性和清潔度。




G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要性能規(guī)范

性能規(guī)范Specification	設(shè)計(jì)規(guī)范Design standard	結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度 Structure length	連接法蘭 connect flange	試驗(yàn)與檢驗(yàn)Experiment & inspection
	GB/T 12239	GB/T 12221	JB/T; JB/T79	GB/T 13927

主要零件材料

零件名詞 Name	灰鑄鐵Gray Cast iron	鑄鋼 cast steel
閥體 Body	HT250+搪瓷HT250+enamel	WCB+搪瓷 WCB+ enamel
閥瓣/閥桿 Disc/stem	35	1Cr13
隔膜 diaphragm	PEP(F46)/CR(氯丁橡膠)

G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要連接及外形尺寸：



公稱通徑DN	主要連接尺寸及外形尺寸							孔數(shù)Z	孔徑b
	L	D	D1	D2	H	b1	D0
25	145	115	85	65	121	16	120	4	14
32	160	135	100	75	130	16	125	4	14
40	180	145	110	85	165	18	140	4	18
50	210	160	125	100	230	20	160	4	18
65	250	180	145	120	240	20	200	4	18
80	300	195	160	135	256	22	200	4	18
100	350	215	180	155	285	22	240	8	18
125	400	245	210	185	320	23	280	8	18
150	460	280	240	210	464	24	320	8	23

G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù)：

設(shè)計(jì)與制造：GB12239

結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度：GB12221、JB1688

法蘭連接尺寸：GB4216、JB78

本閥于工作溫度≤100℃的般腐蝕性介質(zhì)管路上作啟閉用。

搪瓷表面十分光滑和具有隔離金屬離子的特性

具有良好的耐磨性與電絕緣性



G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例襯里材料和適用介質(zhì)：

襯里材料（代號(hào)）	使用溫度（℃）	適用介質(zhì)
硬橡膠（NR）	-10～85	鹽酸、30%硫酸、50%qing氟酸、80%磷酸、堿、鹽類、鍍金屬溶液、氫氧化鈉、氫氧化鉀、中性鹽水溶液、10%次氯酸鈉、溫lǜ氣、氨氣、大部分醇類有機(jī)酸及醛類等
軟橡膠（BR）	-10～85	水泥、粘土、煤渣灰、顆粒狀化肥及磨損性較強(qiáng)的固態(tài)流體、各種濃度稠粘液等
氟橡膠（CR）	-10～85	動(dòng)植物油類、潤(rùn)滑劑及PH值變化范圍很大的腐蝕性泥漿等
丁基膠（HR）	-10～120	有機(jī)酸、堿和氫氧化合物、無機(jī)鹽及無機(jī)酸、元素氣體醇類、醛類、醚類、酮類等
聚偏氟乙丙烯塑料 （FEP）	≤150	除熔融堿金屬、元素氟及芳香烴類外的鹽酸、硫酸、王水、有機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑、濃稀酸交替、酸堿交替和各種有機(jī)溶劑等
聚偏氟乙烯塑料 （PVDF）	≤100
聚四氟乙烯和乙烯共聚物 （ETFE）	≤120
可熔性聚四氟乙烯塑料 （PFA）	≤180
聚三氟氯乙烯塑料 （PCTFE）	≤120
搪瓷	≤100 切忌溫差急變	除qing氟酸、濃磷酸及強(qiáng)堿外的其它低度腐蝕性介質(zhì)
鑄鐵無襯里	使用溫度按隔膜閥 材料定	非腐蝕性介質(zhì)
不銹鋼無襯里	一般腐蝕性介質(zhì)

G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例安裝注意事項(xiàng)：

1、搬運(yùn)：在搬運(yùn)時(shí)切記勿碰撞勿拋扔；

2、安裝：在安裝的過程中不得借用其它撬桿或錘子，避免震動(dòng)或碰撞損壞搪瓷部位；

3、安裝前對(duì)閥門或管件的內(nèi)腔進(jìn)行檢查避免臟污卡死閥門影響正常使用，或損壞介質(zhì)。



G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例維護(hù)保養(yǎng)：

1、閥門及管件在未安裝情況下需存放在干燥、通風(fēng)地方，避免暴曬和潮濕，經(jīng)常不安裝的需要對(duì)閥門清潔保養(yǎng)；

2、安裝在管道或設(shè)備上之后，應(yīng)檢查填料函的螺栓是否松動(dòng)，有螺桿的閥門應(yīng)對(duì)螺桿部位作潤(rùn)滑處理；

3、對(duì)于安裝在室外的設(shè)備應(yīng)做好防水、防潮、防碰撞的準(zhǔn)備工作（特別對(duì)于裝有電氣裝置的設(shè)備）。




四、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例總結(jié)
氣動(dòng)隔膜閥作為一種快速、安全、可靠、易于維護(hù)的開關(guān)設(shè)備，在半導(dǎo)體行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封性好、動(dòng)作靈敏、適用范圍廣、安全性高和維護(hù)方便等特點(diǎn)，為半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和設(shè)備安全提供了有力保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，氣動(dòng)隔膜閥在未來仍將具有廣泛的應(yīng)用前景。